一种LN/Si基声表面波压力传感器

作者：Pascal Nicolay 1，*OrcID，Hugo Chambon 1，Gudrun Bruckner 1，Christian Gruber 1，Sylvain Ballandras 2，Emilie Courjon 2和Matthias Stadler 3

1

Carinthian Tech Research（CTR AG），Europastrasse 129524 Villach，奥地利

2

法国贝桑松市阿兰萨瓦里路18号TEMIS Innovation frec | n | sys

三

UNISENSOR AG，Bahnstrasse 12A，8544 Attikon，瑞士

*

信件应寄给的作者。

传感器2018，18（10），3482；https://doi.org/10.3390/s18103482

接收日期：2018年9月20日/修订日期：2018年10月10日/接受日期：2018年10月12日/发布日期：2018年10月16日

（本文属于物理传感器一节）

查看全文下载PDF浏览图片引用本文

摘要

声表面波（SAW）传感器是一种小型的、无源的无线设备。我们在这里展示了在一个项目中获得的最新结果，该项目旨在开发一种基于表面声波的植入式压力传感器，该传感器配备了一个定义明确、厚度为30μm、直径为4.7 mm的铌酸锂（LN）膜。提出了一种新的制备工艺，解决了LN薄膜的精确刻蚀问题。首先利用晶圆键合技术制造了LN/Si晶圆。随后进行研磨/抛光操作，将LN厚度减至30μm。然后使用电子束和光学光刻技术在LN上沉积2.45ghz的SAW反射延迟线（R-DL）。R-DL的设计方式使得温度补偿变得容易。最后，薄膜被蚀刻在硅中。实施了一个专门的装置，以表征传感器与压力和温度的关系。获得的压力精度令人满意（±0.56 mbar）。然而，在响应曲线和残余温度灵敏度中观察到不连续性。通过进一步的实验、建模和仿真来分析观察到的现象。结果表明，它们主要是由于温度变化时，在类LN/Si双晶片结构中产生的热机械应变和应力场的存在。特别是，屈曲效应解释了响应曲线中在43℃左右观察到的不连续性。提出并讨论了可能的解决方案。查看全文

关键词：声表面波压力传感器；多层衬底；薄膜LN/Si；晶圆键合

▼显示数字

图1

这是一篇开放获取的文章，根据知识共享署名许可证分发，允许在任何媒介中不受限制地使用、分发和复制，前提是原作被正确引用

科学饲料

分享和引用

MDPI和ACS样式

Nicolay，P.；Chambon，H.；Bruckner，G.；Gruber，C.；Ballandras，S.；Courjon，E.；Stadler，M.A LN/Si基声表面波压力传感器。传感器2018，183482。

显示更多引文格式

请注意，从2016年第一期开始，MDPI期刊使用文章编号而不是页码。请参阅此处的详细信息。

文章指标

引用

交叉引用

1

科学网

1

斯科普斯

2

谷歌学者

[单击查看]

文章访问统计

文章访问统计

全文视图

抽象视图

三。八月

4八月

5八月

6八月

7八月

8八月

9八月

10八月

11八月

12八月

13八月

14八月

15八月

16八月

17八月

18八月

19八月

20八月

21八月

22八月

23八月

24八月

25八月

26八月

27八月

28八月

29八月

30八月

31八月

1九月

2九月

三。九月

4九月

0

250

500

750

1000

1250

1500

有关期刊统计的更多信息，请点击这里。

来自同一IP地址的多个请求被视为一个视图。

从Scilit搜索更多

声表面波压力传感器；多层衬底；薄膜LN/Si；晶圆键合

搜索

传感器，EISSN 1424-8220，MDPI AG发布免责声明内容警报

更多信息

物品加工费

支付发票

开放存取策略

联系MDPI

MDPI的工作

指导方针

对于作者

供审阅者使用

对于编辑

对于图书管理员

对于出版商

为社会服务

MDPI倡议

机构开放存取计划（IOAP）

科学论坛

预印本

锡利特

SCI配置文件

MDPI书籍

百科全书

堵塞

诉讼

MDPI博客